Technologie der Extrem-Ultravioletten Strahlung (TEUV)

 

EUV-Technologie in Theorie und Praxis

Die Veranstaltung Technology of Extreme Ultraviolet Radiation TEUV wird ab 2023 jedes Sommersemester angeboten und richtet sich an Studierende des Maschinenbaus oder vergleichbarer Studiengänge an der RWTH Aachen University. In der Vorlesung bringen wir euch die Grundlagen der EUV-Technologie inklusive der EUV-Lithografie näher, die für die Herstellung der neuesten Computerchip-Generationen genutzt wird. Im Blockkurs werden zusätzlich praxisorientierte Fähigkeiten vermittelt, die in der aktuellen EUV-Technologie gefragt sind. Die Studierenden bekommen zusätzlich einen Einblick in die Forschung, die in unserem eigenen Reinraum im Bereich der EUV-Lithografie und EUV-Metrologie stattfindet. Somit erhalten die Studierenden die Gelegenheit, neben den theoretischen Grundlagen auch zukunftsrelevante Kompetenzen für ihre Berufslaufbahn zu sammeln.

Das Thema der EUV-Strahlung spielt eine entscheidende Rolle in der Herstellung von mikroelektronischen Bauteilen der neuesten Generation wie Prozessoren, Speicherchips und anderen elektronischen Komponenten. Aufgrund der ständig wachsenden Nachfrage nach leistungsfähigeren und effizienteren Chips spielt die EUV-Technologie eine immer bedeutendere Rolle in Industrie und Forschung. Das vorgestellte Modul bietet somit die einzigartige Möglichkeit, relevante praxisorientierte Fähigkeiten im Bereich der EUV-Technologie zu sammeln.

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Inhalte

• Grundlagen der Optik
• Technologien zur EUV-Strahlungserzeugung
• Optische Komponenten und Systeme für EUV-Strahlung
• EUV-Lithografie
• EUV-Metrologie
• Vakuum- und Reinraumtechnik
• System-Engineering für EUV-Anwendungen

Aufbau des Moduls: Vorlesung und Blockkurs
Unser neuartiges Lehrkonzept vereint virtuelle Inhalte mit praxisnahem Unterricht. Die Online-Vorlesung wird ab der zweiten Hälfte des Sommersemesters über den Dienst EdX edge in Form eines MOOC (massive open online course) angeboten und von einem Online-Tutorium und einer Übung begleitet. Der Blockkurs vertieft die erlernten Kenntnisse und findet am Ende der vorlesungsfreien Zeit als einwöchige Präsenzveranstaltung (Mo-Fr) in den Räumlichkeiten des Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT, Steinbachstr. 15) statt. Hier erhalten die Studierenden die Möglichkeit, praxisnah zu arbeiten und sich mit Forschenden auf Augenhöhe auszutauschen.

Über RWTH-Online gibt es nähere Informationen zu dem genauen Veranstaltungszeitraum und -ort.

Sprache
Sowohl die Vorlesung als auch die Übungen werden auf Englisch gehalten.

Anmeldung
Die Durchführung des Blockkurses bedarf im Vorhinein einer detaillierten Planung zur Erstellung und Beschaffung notwendiger Infrastruktur. Dadurch ergibt sich auch eine limitierte Anzahl an Plätzen im Kurs.

Da erfahrungsgemäß nur ein Bruchteil der über RWTH-Online angemeldeten Studenten (m/w/d) aktiv und in Präsenz an der Veranstaltung teilnehmen, ist neben der Anmeldung in RWTH-Online eine zusätzliche schriftliche Anmeldung per E-Mail bei Sophia Schröder (Sophia Schröder) erforderlich.

Prüfung
Die Prüfung findet als Online-Klausur über Dynexite statt. Der Prüfungstermin kann dem RWTH-Online System entnommen werden.

Sonstiges
Für Rückfragen zu den Lehrinhalten und zum Ablauf der Vorlesung/Übung stehen wir gerne zur Verfügung.

 

Impressionen