Technology of Extreme Ultraviolet Radiation (TEUV)

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*** EUV-Technologie in Theorie und Praxis ***

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EUV mirror for an NA of 0.55 Copyright: © Zeiss SMT

*** EUV mirror for an NA of 0.55 ***

EUV mirror for an NA of 0.55 Copyright: © Zeiss SMT

*** EUV mirror for an NA of 0.55 ***

Ausschnitt aus MOOC Copyright: © TOS

*** Ausschnitt aus MOOC ***

Gasentladungsbasierte Plasmaquelle für EUV Strahlung Copyright: © Fraunhofer ILT

*** Gasentladungsbasierte Plasmaquelle für EUV Strahlung ***

Interferenzlithografie-Anlage am RWTH-TOS Copyright: © TOS

*** Interferenzlithografie-Anlage am RWTH-TOS ***

Schema eines optischen Systems für EUV-Projektionslithografie Copyright: © Henry Axt, TOS

*** Schema eines optischen Systems für EUV-Projektionslithografie ***