Forschungsschwerpunkte

Die drei Arbeitsgruppen des Lehrstuhls betreiben Forschung und Entwicklung auf den Gebieten der Optischen Systeme für Laser und Laseranwendungen, der Computational Optics und der EUV-Technologie.

Die Forschung findet unter anderem im Rahmen von zahlreichen, beispielsweise von der Deutschen Forschungsgesellschaft (DFG) und der Europäischen Union (EU) finanzierten, Drittmittelprojekten statt.

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Optische Systeme

Facettenspiegel zur Strahlformung © Urheberrecht: Fraunhofer ILT

Die Gruppe Optische Systeme forscht an neuen Montageverfahren für kompakte optische Systeme, fertigungs- und montagegerechtem Design, Simulation thermischer Einflüsse sowie der Integration von Aktorik und Sensorik zur Steuerung und Regelung von Optiken.

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Computational Optics

Simulation der Lichtpropagation in einer Freiformoptik © Urheberrecht: TOS

Die Gruppe Computational Optics beschäftigt sich mit der Entwicklung von Berechnungsmethoden für Anwendungen in der Optik. Dabei erforscht sie Themen wie Freiformoptiken, optische neuronale Netze oder Diodenlaser für die Quantentechnologie und leitet über die Lösung eines inversen Wärmeleitungsproblems anwendungsangepasste Intensitätsverteilungen für die Lasermaterialbearbeitung her.

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EUV-Technologie

EUV Strahlquelle © Urheberrecht: Fraunhofer ILT

Die erfolgreiche Entwicklung von laborbasierten EUV Strahlungsquellen am Fraunhofer ILT ermöglicht eine Vielzahl neuer Anwendungen auf dem Gebiet der Nanotechnologie, die hier in der Gruppe EUV-Technologie erforscht werden. Die kurze Wellenlänge und die effektive Wechselwirkung von EUV Strahlung mit Materie erlaubt neben der Nanostrukturierung von Oberflächen, die hochpräzise Charakterisierung von Dünnschichten und hochauflösende Bildgebungsverfahren.

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