Carl Zeiss Best Student Paper Award 2020

01.06.2020

Sophia Schröder hat im Rahmen der Onlinekonferenz “SPIE Photomask Technology and EUV Lithography 2020“ vom 21. bis zum 25. September den 1. Preis des „Carl Zeiss Best Student Paper Award“ erhalten.

 

1. Preis: Carl Zeiss Best Student Paper Award 2020

Auf der Industriekonferenz mit über 1.500 Teilnehmerinnen und Teilnehmern stellte Sophia Schröder die EUV-Spektrometrie vor. Dieses Verfahren wurde von Wissenschaftlern des Lehrstuhls TOS und des Fraunhofer ILT in einem kompakten Laboraufbau realisiert und im Rahmen des Konferenzbeitrags hinsichtlich der erzielbaren Messgenauigkeit analysiert. Unter Verwendung von extrem ultravioletter Strahlung wird das Verfahren u. a. zur Charakterisierung neuartiger Absorbermaterialien für die Maskenherstellung in der industriellen Halbleitertechnik genutzt.

Der Vortrag sowie das Paper können in der SPIE Bibliothek eingesehen werden.

Link zur Konferenz:

https://spie.org/conferences-and-exhibitions/photomask-technology--extreme-ultraviolet-lithography

Link zum Vortrag/Paper:

https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/11517/115170S/Accuracy-analysis-of-a-stand-alone-EUV-spectrometer-for-the/10.1117/12.2573148.full