Karel Urbánek Best Student Paper Award 2021

01.01.2021

Im Rahmen der »SPIE Advanced Lithography 2021« Onlinekonferenz vom 22. bis 26. Februar 2021 erhielt Sophia Schröder den »Karel Urbánek Best Student Paper Award 2021

 

Karel Urbánek Best Student Paper Award 2021

Foto Vortrah Sophia Schröder

Der Beitrag von Sophia Schröder zur Nutzung der EUV-Spektrometrie zur Vermessung von photosensitiven Materialien nach EUV-Belichtung wurde auf der Konferenz von einem Komitee renommierter Wissenschaftler der Branche als der eindrucksvollste Beitrag gekürt. Das Verfahren der EUV-Spektrometrie wurde von den Forschern des Lehrstuhls TOS und des Fraunhofer ILT in einem kompakten Laboraufbau realisiert und zur industriellen Anwendung gebracht. Durch die hohe Sensitivität des Verfahrens gegenüber nanoskaligen Strukturen und optischen Materialeigenschaften wurde die Charakterisierung von sogenannten latenten Abbildern in photosensitiven Materialien vorgestellt. Diese Aufgabenstellung ist derzeit eine der größten Herausforderungen der Messtechnik in der industriellen Halbleiterfertigung. Am Abend des 9. März wurde Sophia Schröder auf der virtuellen Award-Ceremony mit dem Sponsor KLA Corporation eine gläserne Trophäe überreicht.

Der Vortrag sowie das Paper können in der SPIE Bibliothek eingesehen werden.

Link zu Konferenz:

https://spie.org/conferences-and-exhibitions/advanced-lithography

Link zu Paper/Vortag:

https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/11611/116111M/Latent-image-characterization-by-spectroscopic-reflectometry-in-the-extreme-ultraviolet/10.1117/12.2583830.full?webSyncID=4cea1368-700d-8eae-0d8c-11873ae51e3c&sessionGUID=4c91c2a5-a089-e765-1ed0-d1e0a1819aa9&_ga=2.193579309.1029417730.1618218472-912331345.1618218472&SSO=1

 

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